工場設備のデータ収集から診断、通知まで予知保全に必要な機能をまとめたシステム - ＠IT MONOist

東京エレクトロンデバイスは、工場設備の稼働状態を容易に監視できる予知保全プラットフォーム「CX-D」を発売した。設備からのデータ収集やデータの可視化、変化監視、状態診断、通知など工場設備の状態監視に必要な機能を統合している。

　東京エレクトロンデバイスは2020年6月16日、工場設備の稼働状態を容易に監視できる、予知保全プラットフォーム「CX-D」を発売した。

　CX-Dは、工場設備の状態監視に必要となる、設備からのデータ収集やデータの可視化、変化監視、状態診断、通知などの機能を1システムに統合している。製造業の企業が同様のプラットフォームを自社で構築、運用する場合と比較して、コストや工数面での負担を軽減する。

「CX-D」の機能概要（クリックで拡大） 出典：東京エレクトロンデバイス

　また、工場設備の通常の状態を学習して、設備の状態変化を警告指数として検知するAI（人工知能）技術を実装している。この変化監視に加えて、同社の判別モデル自動生成マシン「CX-M」で生成した分類モデルと多値モデルを使った状態診断を組み合わせることで、さらに予知保全の精度を高められる。

システム構成例（クリックで拡大） 出典：東京エレクトロンデバイス

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